白光干涉儀由于具有精度高和非接觸式測(cè)量的明顯測(cè)量?jī)?yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于各類加工樣品和精密器件的表面特征檢測(cè)，涉及的學(xué)科已經(jīng)超過(guò)30個(gè)，助力于許多重大科技領(lǐng)域，如MEMS傳感器、超精密加工、納米技術(shù)、航天科技、光學(xué)透鏡以及摩擦磨損的研究等。

就其原理，顧名思義，就是利用光的干涉原理。眾所周知著名的雙縫干涉試驗(yàn)，當(dāng)光源為單色光時(shí)，光的雙縫干涉條紋是一組平行等間距的明暗相間的直條紋，各條紋左右對(duì)稱、明暗相間、均勻排列;如果用白光做實(shí)驗(yàn)，則除了中央亮紋仍是白色以外，其余各級(jí)條紋將形成彩色條紋;此外，還展示了紅光和紫光在相同實(shí)驗(yàn)條件下分別獲得的雙縫干涉的圖案，結(jié)果可見(jiàn)，對(duì)于同一條雙縫，入射光波長(zhǎng)越長(zhǎng)，則屏幕上形成的條紋就越寬，所以當(dāng)光源變成由多個(gè)不同波長(zhǎng)光組成的白光時(shí)，它的下一級(jí)的白色亮紋的位置就是各不同波長(zhǎng)光源光程差的最小公倍數(shù)。因此，白光干涉產(chǎn)生的是干涉波包。

基于光的干涉原理，白光干涉儀就誕生了。通過(guò)設(shè)置參考鏡，使參考鏡反射的光與樣品反射的光形成兩束相干光束，參考鏡的位置是固定已知的，在連續(xù)垂直掃描模式下，連續(xù)改變鏡頭至樣品間的距離，記錄產(chǎn)生干涉亮條紋的位置，也就是參考臂與測(cè)試臂距離一致時(shí)，就得到測(cè)量點(diǎn)的高度信息了。呈現(xiàn)在CCD中的不同水平位置的點(diǎn)都有各自對(duì)應(yīng)的干涉波包的峰值位置，獲得水平位置信息以及對(duì)應(yīng)的高度信息后，就可以還原出樣品的三維形貌了。

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