四探針電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置；

    可以測(cè)量硅、鍺單晶電阻率和硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃和其他導(dǎo)電薄膜的方塊電阻，主要用于評(píng)估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能。

    廣泛用于半導(dǎo)體廠家、太陽(yáng)能行業(yè)，還能滿足科研單位的精密研究。

    電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多，四探針?lè)ㄊ且环N廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。

    它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便，精確度高，對(duì)樣品的形狀無(wú)嚴(yán)格要求。

    常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。

    四探針電阻率測(cè)試儀測(cè)試四探針筆方法：

    一般情況下，更換鋼針之類，不需要拆開(kāi)探頭，只需要用拔出要更換的鋼針，再重新安裝新針，如果斷針在孔內(nèi)并且不拆開(kāi)難以取出，必須按照以下步驟進(jìn)行操作：

    1、先松開(kāi)筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線斷線，短接;

    2、輕輕擰開(kāi)探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，(四片銅片每片間夾一片絕緣片，兩邊的銅片外側(cè)各兩片)，將斷針從銅片卡口座里取下即可;

    3、特別注意一定不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接;

    4、安裝時(shí)銅片及絕緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞進(jìn)探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲;

    5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部。

    儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

    儀器采用了較新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

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