本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

本文件代替GB/T24581-2009《低溫傅立葉變換紅外光譜法測(cè)量硅單晶中Ⅲ、V族雜質(zhì)含量的測(cè)試方法》，與GB/T24581-2009相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：

a）刪除了“目的”（見2009年版的第1章）；

b）更改了硼（B）、磷（P）、砷（As）、鋁（A1）、銻（Sb）、鎵（Ga）的測(cè)定范圍，并增加了銦（In）含量的測(cè)定（見第1章，2009年版的第2章）；

c）更改了術(shù)語和定義（見第3章，2009年版的第5章）；

d）增加了雜質(zhì)含量小于5.0×25275px-·的樣品的測(cè)量條件（見5.6）；

e）增加了用次強(qiáng)吸收譜帶P（6875px-1）來計(jì)算磷（P）元素的含量（見5.8）；

f）增加了摻雜硅單晶對(duì)測(cè)量的影響（見5.9）；

g）更改了多晶轉(zhuǎn)變?yōu)閱尉У姆椒ǎㄒ?.12，2009年版的8.1）；

h）更改了傅立葉變換紅外光譜儀的要求（見7.4，2009年版的7.4）；

i）增加了千分尺及其精度要求（見7.5）；

j）更改了非零響應(yīng)值譜線范圍（見9.2，2009年版的10.2）；

k）更改了背景光譜的掃描次數(shù)（見9.7，2009年版的11.5）；

1）更改了樣品的掃描次數(shù)（見9.10，2009年版的11.8）；

m）表1中增加了P（6875px-1）對(duì)應(yīng)的峰位置、基線和積分范圍及校準(zhǔn)因子（見10.1）；

n）更改了雜質(zhì)含量的單位，并對(duì)計(jì)算公式進(jìn)行了相應(yīng)的修約（見10.4，2009年版的13.1、13.2）；

0）更改了測(cè)量結(jié)果的精密度（見第11章，2009年版的第15章）；

p）更改了試驗(yàn)報(bào)告的內(nèi)容（見第12章，2009年版的第14章）；

q）刪除了偏差、關(guān)鍵詞（見2009年版的第16章、17章）。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203/SC2）共同提出并歸口。

本文件起草單位：樂山市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所、青海芯測(cè)科技有限公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、亞洲硅業(yè)（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、有研半導(dǎo)體硅材料股份公司、四川永祥股份有限公司、陜西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司、江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、新疆協(xié)鑫新能源材料科技有限公司、國(guó)標(biāo)（北京）檢驗(yàn)認(rèn)證有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、江蘇秦烯新材料有限公司、義烏力邁新材料有限公司。

本文件主要起草人：梁洪、趙曉斌、萬濤、薛心祿、魏東亮、王彬、邱艷梅、楊素心、李素青、李朋飛、趙培芝、王永濤、魏強(qiáng)、楚東旭、周延江、劉文明、劉紅、何建軍、皮坤林。

本文件于2009年首次發(fā)布，本次為第一次修訂。

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