本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

本文件等同采用ISO27894：2009《真空技術(shù)真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。

本文件由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。本文件由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC18)歸口。

本文件起草單位：中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司第五研究院第五一O研究所、上海精密計(jì)量測(cè)試研究所、合肥智海光電技術(shù)有限公司、沈陽匯真真空技術(shù)有限公司、佛山市順德區(qū)質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督標(biāo)準(zhǔn)與編碼所、重慶大學(xué)、湖南維格磁流體股份有限公司、淄博市計(jì)量技術(shù)研究院、廣州涂氏精怡科技有限公司、惠州市宇之光科技有限公司、廣東唯沃科技有限公司、深圳市時(shí)代高科技設(shè)備股份有限公司、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司。

本文件主要起草人：成永軍、趙瀾、孫雯君、張虎忠、肖寅楓、翁俊、倪博、劉磊、趙燕、宋青竹、王壯、李春、侯軍霞、羅付強(qiáng)、言繼春、言文靜、張曉琳、董猛、陳聯(lián)、張瑞芳、管保國(guó)、馮天佑、涂進(jìn)紅、蔣振蘭、張海鷹、田漢溶、王玲玲。

電離真空計(jì)是測(cè)量高真空和超高真空的常用儀器。在已知溫度的高真空和超高真空環(huán)境下，該真空計(jì)收集的離子流與氣體密度和壓力成正比。高速運(yùn)動(dòng)的電子碰撞電離中性氣體分子產(chǎn)生離子，電子則是通過自持放電或電子發(fā)射陰極產(chǎn)生。在商用電離真空計(jì)中，電子發(fā)射陰極為熱絲，也稱為“熱陰極”，它是通過熱發(fā)射原理實(shí)現(xiàn)電子發(fā)射。

由于交叉電磁場(chǎng)自持放電的電離真空計(jì)，在放電電流與氣體密度之間展現(xiàn)出的非線性特征，使其校準(zhǔn)非常繁瑣。

因此，在高真空度和超高真空度的壓力范圍內(nèi)，測(cè)量線性更好的“熱陰極”電離真空計(jì)可用于量值傳遞。電離真空計(jì)若用于高真空和超高真空范圍的量值傳遞和精確測(cè)量，真空計(jì)相關(guān)參數(shù)和不確定度值必不可少，本文件將對(duì)其加以描述。因此，當(dāng)使用電離真空計(jì)作為參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，本文件是對(duì)ISO/TS3567的補(bǔ)充。

1.范圍

本文件定義了與熱陰極電離真空計(jì)相關(guān)的術(shù)語，并規(guī)定熱陰極電離真空計(jì)制造商要給出的具體參數(shù)，以及在操作這些儀表時(shí)，需要考慮的測(cè)量不確定度分量。原因如下。

a）本文件更新了ISO3529-3：1981中給出的一些術(shù)語和定義。

b)熱陰極電離真空計(jì)通常用作參考標(biāo)準(zhǔn)，本文件為適用的實(shí)驗(yàn)室明確規(guī)定了便于在高真空和超高真空下正確校準(zhǔn)真空計(jì)的相關(guān)信息。使用電離真空計(jì)開展高真空和超高真空的可溯源壓力測(cè)量時(shí)，適于在制造商說明書中引述含有真空計(jì)相關(guān)參數(shù)和特征的信息。

c)本文件還列出了與電離真空計(jì)壓力測(cè)量相關(guān)的重要的不確定度分量，也給出了這些不確定度分量的評(píng)估指南。對(duì)于某些當(dāng)前或未來的真空計(jì)來說，不確定度分量的清單可能并不全面。

d）將電離真空計(jì)用作參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，本文件是對(duì)ISO/TS3567和ISO/TS27893的補(bǔ)充。

2.規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 27418-2017 測(cè)量不確定度評(píng)定和表示（ISO/IEC Guide 98-3：2008，MOD）

注：GB/T27418-2017被引用的內(nèi)容與ISO/IECGuide 98-3:2008被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異。

ISO/TS 3567 真空計(jì) 與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)（Vacuum gauges-Calibration by directcomparison with a reference gauge)

注：GB/T34873-2017真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)（ISO3567：2011，IDT）

3.術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1部組件定義

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