四探針電阻測試儀對仲裁測量，報告還應(yīng)包括對探針狀況、電測裝置的精度、所測原始數(shù)據(jù)及處理結(jié)果。

接通電流，令其任一方向為正向，調(diào)節(jié)電流大小見表1所給出的某一合適值，測量并記錄所得數(shù)據(jù)。所有測試數(shù)據(jù)至少應(yīng)取三位有效數(shù)字。 改變電流方向，測量、記錄數(shù)據(jù)。關(guān)斷電流，搶起探針裝置，對仲裁測量，探針間距為1.59 mm，將樣品分別旋轉(zhuǎn)30°±5'，重復(fù)8.4～~8.7的測量步驟，測5組數(shù)據(jù)，測量結(jié)果計算

將操針下降到試樣表面測試，使四探行針尖端陣列的中心落在試樣中心1.00mm范圍內(nèi)。 

對于薄層厚度小于3μm的試樣，選用針尖半徑為 100 μm~250 μm的半球形探針或針尖率徑為50 μm～125 pm平頭探針，針尖與試樣間壓力為0.3 N~0.8Ni對于薄層厚度不小于3μ的試樣，選用針尖半徑為 35 μm~100 pm 半球形操針，針尖與試樣間壓力不大于0.3 N.

用干凈涂題顆子或吸筆將試樣置于樣品臺上，試樣放置的時間應(yīng)足夠長，達到熱平衡時，試樣溫度為23 ℃±1℃.

測量條件和步驟整個測試過程應(yīng)在無光照，無離頻和無振動下進行。

化學(xué)實驗室器具，如;塑料燒杯，量杯和適用于酸和溶劑的涂塑懾子等。試樣制備如試樣表面潔凈，符合測試條件可直接測試，否則，按下列步驟清洗試樣后測試∶試樣在甲醇中源洗1min。如必要，在甲醇中多次源洗，直到被干燥的試樣無污跡為止。將試樣干燥。 放入氫氟酸中清洗1 min。 用純水洗凈。 用甲醇源洗干凈， 用氮氣吹干。

GB/T 11073 硅片徑向電阻率變化的測量方法提要

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用商成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的新版本。凡是不注日期的引用文件，其新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。 GB/T 1552 硅、儲單晶電阻率測定 直排四探針法

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量直徑大于15.9mm的由外延、擴散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導(dǎo)電類型與被測薄層相反。適用于測量厚度不小于0.2 μm的薄層，方塊電阻的測量范圍為10A~5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測量，但其測量精確度尚未評估。

范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針測量硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的方法。

在中國標(biāo)準(zhǔn)分類中，四探針法涉及到半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、金屬物理性能試驗方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導(dǎo)體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有毒害物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導(dǎo)體材料、金屬無損檢驗方法。

國際標(biāo)準(zhǔn)分類中，四探針法涉及到半導(dǎo)體材料、金屬材料試驗、絕緣流體、獸醫(yī)學(xué)、復(fù)合增強材料、電工器件、無損檢測、集成電路、微電子學(xué)、土質(zhì)、土壤學(xué)、水質(zhì)、電子顯示器件、有色金屬。

GB/T 6617-1995 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法

GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測定 直流兩探針法

GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法

GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法

GB/T 14141-2009 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定.直排四探針法

標(biāo)配：測試平臺一套、主機一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。

電源：220±10% 50HZ/60HZ 

顯示方式：液晶顯示

主機外形尺寸：330mm*340mm*120mm

誤差：±0.2%讀數(shù)±2字

量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,?

電流輸出：直流電流?0～1000mA?連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV

測量精度±（0.1%讀數(shù)）

測量電壓量程：?2mV?  20mV? 200mV?2V?

測量誤差±5%

分辨率：  最小1μΩ

電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm

電阻：1×10-5～2×105Ω

電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電阻測量范圍：

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。

適用范圍四端測試法是目前較先進之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

BEST-300C

導(dǎo)電材料電阻測試儀