由于晶圓生產(chǎn)附加值極高，因此半導(dǎo)體檢測設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的地位日益凸顯。2020年，我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到176億元。隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模有望接近400億元。

　　1、檢測在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中意義重大

　　半導(dǎo)體檢測從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測試都不可或缺，貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制造過程。半導(dǎo)體檢測包括設(shè)計(jì)驗(yàn)證、工藝控制檢測、晶圓測試(CP測試)以及成品測試(FT測試)。

　　按照電子系統(tǒng)故障檢測中的“十倍法則”，如果一個(gè)芯片中的故障沒有在芯片測試時(shí)發(fā)現(xiàn)，則在電路板(PCB)級(jí)別發(fā)現(xiàn)故障的成本為芯片級(jí)別的十倍。因此，檢測在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中扮演著重要角色，且其地位日益凸顯。

　　圖表1：集成電路的生產(chǎn)及檢測工藝流程

　　2、半導(dǎo)體檢測設(shè)備種類多

　　根據(jù)廣義的半導(dǎo)體檢測設(shè)備分類，分為前道量測(又稱半導(dǎo)體量測設(shè)備)和后道測試(又稱半導(dǎo)體測試設(shè)備)。前道量檢測主要用于晶圓加工環(huán)節(jié)，目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)的要求或者存在影響良率的缺陷，屬于物理性的檢測;半導(dǎo)體后道測試設(shè)備主要是用在晶圓加工之后、封裝測試環(huán)節(jié)內(nèi)，目的是檢查芯片的性能是否符合要求，屬于電性能的檢測。

　　前道檢測設(shè)備又包括量測類和缺陷檢測類，量測類包括橢偏儀四探針、原子力顯微鏡、熱波系統(tǒng)、相干探測顯微等，缺陷檢測類包括光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡等;而后道檢測設(shè)備主要包括分選機(jī)、測試機(jī)、探針臺(tái)。

　　圖表2：廣義上的半導(dǎo)體檢測設(shè)備

　　3、2020年中國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到176億元

　　2016-2018年，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模波動(dòng)增長。2018年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模實(shí)現(xiàn)645.5億美元，較2017年增長34.85%;2019年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模有所回落，僅為594億美元。根據(jù)SEMI預(yù)測，2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備全球銷售額將比2019年增長16%，增至689億美元。

　　中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模與全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模變化情況類似，2019年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模為129.1億美元(約為865億元)，較2018年有所回落，但中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球市場規(guī)模的比重一直在增長。

　　前瞻初步推測，中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模在2020年恢復(fù)增長，約為155億美元(約為1037億元)，占到全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的22%左右。

　　據(jù)統(tǒng)計(jì)，我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備約占整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備市場的17%，由此可推算，2019年我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模約為147億元，2020年我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模已經(jīng)達(dá)到了176億元。

　　SEMI 2016-2020年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模統(tǒng)計(jì)情況

　　2016-2020年中國半導(dǎo)體檢測設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模統(tǒng)計(jì)情況

　　4、市場規(guī)模有望接近400億元

　　隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，檢測設(shè)備作為能夠提高制程控制良率、提高效率與降低成本的重要檢測儀器，未來在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的地位將會(huì)日益凸顯。

　　同時(shí)，近年來我國積極推動(dòng)國內(nèi)加快發(fā)展高精尖的半導(dǎo)體檢測設(shè)備，未來我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備有望實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。前瞻預(yù)測，2021年中國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模有望接近400億元。

　　圖表5：2021-2026年中國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模預(yù)測(單位：億元)

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