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壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計。它也屬于慣性式傳感器。它是利用某些物質(zhì)如石英晶體的壓電效應(yīng),在加速度計受振時,質(zhì)量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當被測振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時,則力的變化與被測加速度成正比。
壓電加速度計屬發(fā)電型傳感器,可把它看成電壓源或電荷源,故靈敏度有電壓靈敏度和 電荷靈敏度兩種表示方法。前者是加速度計輸出電壓(mV)與所承受加速度之比;后者是加速度計輸出電荷與所承受加速度之比。
近期,中國測試技術(shù)研究院組織實施的“壓電加速度計測量審核”。本次測量審核任務(wù)由無錫市計量測試院建設(shè)的“國家物聯(lián)網(wǎng)感知裝備產(chǎn)業(yè)計量測試中心”承擔(dān)。
技術(shù)人員嚴格按照壓電加速度計校準能力驗證作業(yè)指導(dǎo)書制定試驗程序,取得滿意結(jié)果。通過本次測量審核活動,印證了產(chǎn)業(yè)中心一貫保持的高水平技術(shù)能力,大大增加了客戶對我中心的信任,為廣大企事業(yè)單位提供強有力的技術(shù)支撐起到了積極的推動作用。
加速度計,是測量運載體線加速度的儀表。加速度測量是工程技術(shù)提出的重要課題。當物體具有很大的加速度時,物體及其所載的儀器設(shè)備和其他無相對加速度的物體均受到能產(chǎn)生同樣大的加速度的力,即受到動載荷。欲知動載荷就要測出加速度。
其次,要知道各瞬時飛機、火箭和艦艇所在的空間位置,可通過慣性導(dǎo)航(見陀螺平臺慣性導(dǎo)航系統(tǒng))連續(xù)地測出其加速度,然后經(jīng)過積分運算得到速度分量,再次積分得到一個方向的位置坐標信號,而三個坐標方向的儀器測量結(jié)果就綜合出運動曲線并給出每瞬時航行器所在的空間位置。再如某些控制系統(tǒng)中,常需要加速度信號作為產(chǎn)生控制作用所需的信息的一部分,這里也出現(xiàn)連續(xù)地測量加速度的問題。能連續(xù)地給出加速度信號的裝置稱為加速度傳感器。
常見的加速度計所依據(jù)的原理有:
①參考質(zhì)量由彈簧與殼體相連,它和殼體的相對位移反映出加速度分量的大小,這個信號通過電位器以電壓量輸出;
②參考質(zhì)量由彈性細桿與殼體固連,加速度引起的動載荷使桿變形,用應(yīng)變電阻絲感應(yīng)變形的大小,其輸出量是正比于加速度分盤大小的電信號;
③參考質(zhì)量通過壓電元件與殼體固連,質(zhì)量的動載荷對壓電元件產(chǎn)生壓力,壓電元件輸出與壓力即加速度分量成比例的電信號:
④參考質(zhì)量由彈簧與殼體連接,放在線圈內(nèi)部,反映加速度分量大小的位移改變線圈的電感,從而輸出與加速度成正比的電信號。此外,尚有伺服類型的加速度計,其中引入一個反饋回路,以提高測量的精度。為了測出在平面或空間的加速度矢量,需要兩個或三個加速度計,各測量一個加速度分量。
加速度計由檢測質(zhì)量(也稱敏感質(zhì)量)、支承、電位器、彈簧、阻尼器和殼體組成。檢測質(zhì)量受支承的約束只能沿一條軸線移動,這個軸常稱為輸入軸或敏感軸。當儀表殼體隨著運載體沿敏感軸方向作加速運動時,根據(jù)牛頓定律,具有一定慣性的檢測質(zhì)量力圖保持其原來的運動狀態(tài)不變。它與殼體之間將產(chǎn)生相對運動,使彈簧變形,于是檢測質(zhì)量在彈簧力的作用下隨之加速運動。當彈簧力與檢測質(zhì)量加速運動時產(chǎn)生的慣性力相平衡時,檢測質(zhì)量與殼體之間便不再有相對運動,這時彈簧的變形反映被測加速度的大小。電位器作為位移傳感元件把加速度信號轉(zhuǎn)換為電信號,以供輸出。加速度計本質(zhì)上是一個一自由度的振蕩系統(tǒng),須采用阻尼器來改善系統(tǒng)的動態(tài)品質(zhì)。
加速度計的類型較多:
按檢測質(zhì)量的位移方式分類有線性加速度計(檢測質(zhì)量作線位移)和擺式加速度計(檢測質(zhì)量繞支承軸轉(zhuǎn)動);
按支承方式分類有寶石支承、撓性支承、氣浮、液浮、磁懸浮和靜電懸浮等;
按測量系統(tǒng)的組成形式分類有開環(huán)式和閉環(huán)式;
按工作原理分類有振弦式、振梁式和擺式積分陀螺加速度計等;
按輸入軸數(shù)目分類,有單軸、雙軸和三軸加速度計;
按傳感元件分類,有壓電式、壓阻式和電位器式等。
通常綜合幾種不同分類法的特點來命名一種加速度計。
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