依據(jù)國(guó)質(zhì)檢辦量“關(guān)于做好國(guó)家計(jì)量技術(shù)法規(guī)制(修)定計(jì)劃的通知”文件下達(dá)的任務(wù)規(guī)定，全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)《相移式激光平面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范》的制定工作已經(jīng)開始。修改意見請(qǐng)回復(fù)：委員會(huì)秘書處郵箱mtc4@vip.sina.com,謝謝!

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節(jié)選該規(guī)范部分內(nèi)容

范圍

本規(guī)范適用于測(cè)量光學(xué)平面的面形偏差和平面平晶平面度的相移式激光平面干涉儀(以下簡(jiǎn)稱相移干涉儀)的校準(zhǔn)。

引用文件：《JJG28-2000平晶檢定規(guī)程》、《JJF1100-2016 平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范》。

相移干涉儀是利用壓電陶瓷微位移機(jī)構(gòu)產(chǎn)生相位移動(dòng)，獲得不同相位的系列干涉圖像，并按相應(yīng)數(shù)學(xué)公式(1)進(jìn)行處理和分析、計(jì)算，得到與理想平面面形偏差的干涉儀。相移干涉儀按光軸方位分為立式(見圖1)和臥式(見圖2)結(jié)構(gòu)。

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的絕對(duì)面形偏差

選用滿足絕對(duì)面形偏差PV ≤λ/20，RMS ≤λ/100的三塊標(biāo)準(zhǔn)平面鏡。

在三塊標(biāo)準(zhǔn)平面鏡上做好A、B、C和x，y兩垂直方向的標(biāo)記。然后在相移干涉儀上采用三面全面形互檢法對(duì)三塊標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的平面進(jìn)行絕對(duì)法測(cè)量，其中參考標(biāo)準(zhǔn)平面鏡B或者C安裝在相移器上，被測(cè)標(biāo)準(zhǔn)平面鏡A或者B安裝在儀器工作臺(tái)上，其順序如下(見圖3)：

1)參考標(biāo)準(zhǔn)平面鏡B與被測(cè)標(biāo)準(zhǔn)平面鏡A，進(jìn)行互檢;

2)參考標(biāo)準(zhǔn)平面鏡B與逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90°后的被測(cè)標(biāo)準(zhǔn)平面鏡A90o，進(jìn)行互檢;

3)參考標(biāo)準(zhǔn)平面鏡C與被測(cè)標(biāo)準(zhǔn)平面鏡A，進(jìn)行互檢;

4)參考標(biāo)準(zhǔn)平面鏡C與被測(cè)標(biāo)準(zhǔn)平面鏡B，進(jìn)行互檢。

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