奧地利維也納技術(shù)大學(TU Wien)已開發(fā)出一種新型的場強探測器，該探測器基于微電子機械技術(shù)，改進場強測量的方法。精確測量電場強度，解決現(xiàn)有的架構(gòu)體系過于復(fù)雜且難以進行校準。

 　　TU Wien的Andreas Kainz表示：“目前用于測量電場強度的設(shè)備存在一些顯著的缺點，例如這些設(shè)備中包含的導(dǎo)電金屬部件將對電場測量產(chǎn)生影響。若器件接地以提供測量的參考點，則該效應(yīng)會更加明顯。”研究人員們采用了不同的方法進行重新設(shè)計，使用被動式MEMS元件，并利用了靜電感應(yīng)對尺寸僅為幾微米的小型硅柵格結(jié)構(gòu)的影響，其附著在一個小型彈簧上，當硅塊暴露在電場中時，在硅晶體上施加一個力，則彈簧會被輕微地壓縮或延伸。

　　隨后可通過觀察穿過該結(jié)構(gòu)的LED光束的變化對這種機械位移進行光學追蹤。另一個柵格固定于硅塊上方，因此當硅在電場的影響下移動時，將產(chǎn)生新的光通量。這種變化可以用來測量引起位移的電場強度。

　　在已發(fā)表的論文中，該研究團隊注意到新設(shè)備還可用于頻率相對較低的區(qū)域。Kainz表示：“該設(shè)備已能夠精確測量出每米低于200伏的弱電場。這意味著我們的系統(tǒng)已經(jīng)能夠與現(xiàn)有產(chǎn)品在大致相同的水平上運行，但我們的產(chǎn)品體積更小，且使用更簡單?！?/p>

　　氣象學是該設(shè)備的另一個目標領(lǐng)域，在雷電來臨之前或雷暴期間，傳感器將有助于解決當?shù)仉妶龅拈W電研究中一些尚未解決的問題，因為閃電有可能引發(fā)移動設(shè)備發(fā)出雷擊警報。此外類似的設(shè)備還能用于顯示高壓輸電線的距離。

　　MEMS技術(shù)應(yīng)當允許使用成本相對較低的硅微加工技術(shù)并應(yīng)用大規(guī)模生產(chǎn)方法來進行量產(chǎn)，如此該技術(shù)還可用于跨環(huán)境監(jiān)測以及個人安全等方面的應(yīng)用。Kainz認為：“其他的測量方法已足夠成熟，而我們的方法才剛起步。我堅信我們的微機電傳感器在未來將實現(xiàn)更多的應(yīng)用?！?/p>

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